低的温度：在1大气压（101.3kPa）下，水的沸点为100°C.But下1大气压0.073（7.37千帕）时，水的沸点仅为40℃C.It是负压条件用微波真空设备时，材料可以在低temperature.So被处理的材料的质量可以极大地保证。该机器尤其适用于干燥材料，其需要在低温干燥，如草药提取物，人参，等。
2）压力：在用微波真空装置负压环境，水分蒸发，在较低的温度下快。
二。相比与传统的真空干燥设备：
1）渗透：因为它是在真空状况使用常规真空干燥设备时，热传递水湿在对流的形式 ，并只能conduct.So加热速度慢，干燥时间长且能耗excesive.However，微波真空干燥设备采用辐射方式transfere能量，并将其加热完全没有任何medium.Itavoids上述缺点。
2）均匀：微波加热是材料的内外的同时，该温度差很小的material.So它更均匀地干燥材料时，在与外部，加热效率大大提高。