四氟化碳
（CF4    Tetrafluoromethane;Carbon  Tetrafluoride）  CAS:75-73-0
  
项目    指标纯度%
四氟化碳（cf4）    99.999%    99.9997%    99.99994%
杂质含量    氮气    ﹤5ppm    ﹤1ppm    
氧气    ﹤2ppm    ﹤0.5ppm    ﹤100ppb
氩气            ﹤20ppb
氢气        ﹤0.5ppm    ﹤100ppb
总烃    ﹤1ppm    ﹤0.1ppm    ﹤50ppb
一氧化碳    ﹤1ppm    ﹤0.1ppm    ﹤50ppb
二氧化碳    ﹤1ppm    ﹤0.25ppm    ﹤100ppb
水    ﹤2ppm    ﹤1ppm    ﹤200ppb
*注：产品参数仅供参考，在保证产品纯度下，供方有可能根据原料参数变化而改变产品的参数，不再另行通知???  
包        装：
                采用GB  钢瓶或DOT钢瓶，也可分装。
主要用途:          
                在常温下  ,  四氟化碳是无色、无臭、不燃的可压缩性气体，挥发性较高，是最稳定的有机化合物之一，在  900  ℃时，不与铜、镍、钨、钼反应，仅在碳弧温度下缓慢分解，微溶于水，在25℃及0.1Mpa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时,会分解产生有毒氟化物。        
                四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体  ,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。?
  
化学品安全技术说明书(MSDS)下载：  四氟化碳http://www.kdgc.cn/GetKnowledge/zh-cn/p288.aspx