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供应地:上海上海市
产品规格:
◆磁控聚焦溅射系统
◆真空环境:5.0*10-5Pa
◆共聚焦沉积;垂直沉积
◆2套50mm磁控阴极,间距和角度可调
◆真空室(320|300m)
◆上盖为自动翻开式;
◆温度:25-500C
◆机械泵:4升|分钟;
◆分子泵:110升|秒
◆手动|计算机控制
