技术参数
1．激光器系统
激光波长：1064nm
激光平均功率：10W
典型光斑尺寸：  35µm
　　　实际切口取决于材料、光学器件和波长
冷却方式：风冷
对焦方式：计算机程序控制
2．激光束定位系统
激光束运动范围：60mm  X  60mm
重复定位精度：2µm
定位精度：±5µm
激光束最小步进：0.76µm
3．图像监视系统
监视方式：激光同轴监视
监视视场：4-6mm（对角线）
图像监视显示屏：19寸液晶
4．测量系统
激励方式：电流激励
恒流源：0.01µA~100mA计算机程控选择
电阻测量方式：四线制加电流测电压（可选择二线制）
直流电压测量：10mV~10V（满程电压）
调节对象发热控制：程序可设定
电阻测量精度：低阻：<0.05%+0.5%/R    （R<100Ω）          
　　　　　                  中阻：<0.05%
　　　　　　　　　　高阻：<0.05%+0.5%R（R>0.1MΩ）
电阻测量范围：  0.01Ω-10MΩ
电阻测量速度：25µs
直流电压分辨率：0.16µV（在10mV满量程条件下）
探针板：44针11通道四线制（可选其它规格）
探针板运动：计算机程序控制
5．计算机及软件系统
工业控制计算机（双核），19寸液晶
操作系统：WINOOWs  XP
VB平台开发的可视化应用软件，界面友好，功能强大
6．分步重复机械运动系统
运动方式：空气悬浮运动，无摩擦力
运动范围：290mm*260mm
最大陶瓷基板尺寸：150mm*150mm（可根据要求定做）
运动分辨率：1µm
重复精度：2µm
定位精度：±15µm
最大运动速度：500mm/s
7．其它技术指标
供电电压：220V  AC
整机功耗：1000W