本公司COL－系列无尘烘箱系用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤，强制送风循环方式。双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到最佳温度控制精度。
技术参数：    
1.  百级无尘烤箱型号:COL-2
2.  无尘烘箱工作尺寸(mm):W600×H600×D500
3.  温度范围：RT＋60℃～300℃
4.  无尘烤箱洁净度：100级；
5.  温度均匀性:  ±1.5%
6.  波  动  度：±0.5℃  
7.  电        源：380V  50Hz    7.5KW；
8.  箱体材料：外箱采用  SS41#  中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆，可防止微尘(PARTICLE),内室材料：采用SUS304＃无磁性镜面不锈钢,保温材料：超细玻璃棉；    
9.  空气循环装置：大容量轴流电机；
10.  加热方式：不锈钢电加热器；
11.  温度测量传感器：Pt100  铂电阻；
12.  控制仪表：进口数显温度控制器，PID调节，控制精度0.1℃；
13.  超温保护仪表：独立于工作室主控制的超温保护系统，保证试验品的安全；
14.  控制系统：主要电器件均采用斯耐德、欧姆龙等进口元气件；
15.  排  气  口：ф50；  
16.  隔        板：2层，不锈钢方通，承重约30KG。  
无尘烤箱热线：021-37693997，15221744475  传真:021-37832075联系人：蒋鑫,
网站：www.done-e.com.