在CCD（电荷耦合器件）制造过程中，颗粒沾污对CCD的薄膜质量、光刻图形完整性等有很大的影响，降低CCD的成品率。CCD制造过程中的颗粒来源主要有两个方面：一个制造过程中工艺环境产生的颗粒；另一个是薄膜的淀积、光刻和离子注入等CCD工艺过程中产生的颗粒。工艺环境的颗粒可来源于墙体、设施、设备、材料和人员，工艺过程的颗粒来源于易产生粉尘的工艺，比如说LPCVD淀积多晶硅和氮化硅及刻蚀工艺等。
本公司生产的COL-系列无尘烘箱，即使在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class  100，为CCD（电荷耦合器件）制造过程中烘烤提供洁净环境，预防颗粒沾污
无尘烘箱特点：
1：全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；
2  ：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污避免烘烤时产生  PARTICLE；
3：采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A  Filter  24"×24"×5-7/8"装置往前门
(特殊风道设计)方向送风，过滤效率99.99%，Class  100,排气口：３"φ(附自动启闭风门)
技术参数：
1.  百级无尘烤箱型号:COL-2
2.  无尘烘箱工作尺寸(mm):W600×H600×D500
3.  温度范围：RT＋60℃～300℃
4.  无尘烤箱洁净度：100级；
5.  温度均匀性:  ±1.5%
6.  波  动  度：±0.5℃  
7.  电        源：380V  50Hz    7.5KW；
8.  箱体材料：外箱采用  SS41#  中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆，可防止微尘(PARTICLE),内室材料：采用SUS304＃无磁性镜面不锈钢,保温材料：超细玻璃棉；    
9.  空气循环装置：大容量轴流电机；
10.  加热方式：不锈钢电加热器；
11.  温度测量传感器：Pt100  铂电阻；
12.  控制仪表：进口数显温度控制器，PID调节，控制精度0.1℃；
13.  超温保护仪表：独立于工作室主控制的超温保护系统，保证试验品的安全；
14.  控制系统：主要电器件均采用斯耐德、欧姆龙等进口元气件；
15.  排  气  口：ф50；  
16.  隔        板：2层，不锈钢方通，承重约30KG。  
无尘烤箱热线：021-37693997，15221744475  传真:021-37832075联系人：蒋鑫,
网站：www.done-e.com.