超声波脱脂是利用超声波振荡的机械能使脱脂液中产生数以万计的小气泡，这些小气泡在形成生长和闭合时产生强大的机械力，使零件表面沾附的油脂、污垢迅速脱离，从而加速脱脂过程，使脱脂更彻底。

超声波可应用于溶剂脱脂、化学脱脂、电化学脱脂和酸洗等场合。一步或分步达到除抛光膏、油污、蜡等效果。

超声波脱脂溶液的温度和浓度都比相应的脱脂液低。因为温度和浓度过高都将阻碍超声波的传播，降低脱脂能力。使用超声波可降低脱脂液的温度和浓度，节约能源，保护基体金属免受腐蚀，防止阴极电解脱脂造成的渗氢。应该指出的是超声波脱脂液并不是简单地把原脱脂液稀释使用，而应合理选用脱脂液的组成和配比，选择合适的超声波振荡频率和强度等参数。