在高真空状态下，真空室内残余气体分子的65%到95%以上都是水分子以及水分子与其它气体分子的结合物，这些水汽分子是典型的最具副作用性的污染气体。以往常用的方法是，离子清洗和高温烘烤，但真空系统尤其是扩散泵系统对水蒸气抽速太低，而用昂贵的低温泵系统也仅仅吸附和掩埋掉真空室中的一部分水蒸气分子，高温烘烤也只是把水分子从基片表面迁移，使基片减少对水蒸气的吸附，而北京天地精仪Polycold深冷泵是将90%以上的水分子吸附在低温盘管（Cryocoil）的表面，并能吸附掉真空室内一部分油分子，如果在真空系统水冷阱的上面放置Polycold冷阱，不仅能吸抽水汽，而且可以防止扩散泵返油。 

北京天地精仪Polycold快速循环水汽深冷泵（低温泵）采用了Polycold公司专利的低温冷冻技术，其工作原理依然是麦斯纳（Meissner）吸收原理。使水汽分子在低温盘管（Cryocoil）的超低温表面上凝结，从而达到捕集水汽的目的。这种低温盘管（Cryocoil）直接装在真空室内，系统不再受接头、进气管、阀和挡板等的冷传导的影响，低温盘管的安装不需要高真空阀，可在任何系统中方便地进行。 

北京天地精仪Polycold快速循环水汽深冷泵能很快地捕捉真空系统中65%到95%的水蒸汽分子，由于水蒸汽分子的含量迅速降低，使镀膜机的抽气能力得到提高，一般抽真空时间可以减少25%到75%，极限真空可提高0.5个数量级。 

Polycold水汽深冷泵是世界上领先的水汽深冷泵，由于其开发时间早、技术先进、品质稳定，在中国Polycold已成了水汽深冷泵的代名词。