CCQ-A系列气动超高真空插板阀是用压缩空气为动力，通过电磁换向阀改变气路方向，推动气缸活塞，驱动阀板作上下运动，实现阀门的开启或关闭，从而达到在超高真空系统中接通或切断气流的目的。 适用的工作介质为洁净的空气和非腐蚀性气体。
≤150(除传动装置外)
n-d
主要技术性能
适用范围(Pa)
105～1.3x10-7
阀门漏率(Pa.L/S)
DN≤200为≤1.3x10-7
DN≥250为≤6.7x10-7
阀门烘烤温度（℃）
开阀时阀板两侧压力差(Pa)
≤2.7x103
气源压力（MPa）
0.4～0.6
电源电压
标准出厂：AC220V/50Hz
特殊指定：AC110V；DC24V；DC12V等
信号反馈
标准出厂：不带反馈信号
特殊指定：微动开关DC/AC5～240V
连接及外形尺寸
型号
通径(DN)
ΦD
ΦD0
ΦD1
ΦD2
ΦD3
H
A
L
L1
B
法兰标准
CCQ-50A
50
89
72.4
61.6
55.6
/
60
91
8-M8
515
153
62
GB/T6071
CCQ-63A
63
114
92.1
82.6
76.6
/
65
105
8-M8
590
180
62
CCQ-80A
80
130
110
99
93
/
65
130
16-M8
608
220
75
CCQ-100A
100
152
130.2
120.7
114.7
/
70
152
16-M8
655
267
94
CCQ-150A
150
202
181
171.5
165.5
/
70
202
20-M8
707
350
94
CCQ-200A
200
254
231.8
222.3
216.6
/
80
251
24-M8
806
426
112
CCQ-250A
250
314
288
308
275
271
85
300
24-M10
1125
550
112
JB5278
CCQ-300A
300
365
338
353
323
318
90
352
32-M10
1195
613
140
