明电舍(MEIDENSHA)真空电容器
      
明电舍通过40年对真空断路器的开发制造，积蓄了该领域的丰富技术经验，成功开发制造出高性能,高信赖的真空电容器。真空机器的制造，通常有两种方式1）由真空泵不停排气方式,2)制造中的真空封闭方式。本公司的真空电容器，采用了真空封闭方式进行制造，并且采用了长时间保持真空状态的构造。其产品用于：液晶屏面板制造装置领域，太阳能电池板制造领域，医疗?测量机器领域，半导体制造装置领域，广播电视播放领域，科学研究领域等

真空电容器MEIVAC的特征是
高耐电压  真空的耐电压高，易于实现小型化；
低损失  可以适用于高RF频率；
大电流通电  无整流子结构形式，适合大电流；
高信赖性  具有自我恢复性，可以承受瞬间过电压；


规格
形式    SCV-155M    SCV-510M    SCV-514M
高峰试验电压  [kVp]    15    5    5
静电容量[pF]    50-500    50-1000    90-1400
RF动作电压  [kVp]    9    3    3
直线可变性  (pF/N)    42±4
(65pF  以上)    88±6
(80pF  以上)    115±8
(150pF  以上)
转速（回）    12±1    12±1    12±1
最大容许电流  [Arms]
(at  13.56MHz)    100    100    100
回转转矩（N?cm）
(kgf?cm)    24.5
2.5    24.5
2.5    24.5
2.5
重量（kg）
尺寸（長度×直径）  (mm)
    1.3
140×φ73    1.35
140×φ73    1.4
140×φ73

真空电容器  MEIVAC
MEIVAC真空电容器系列，是基于明电舍的真空技术而开发的一种真空电容器。
真空电容器有以下用途
1  作为半导体薄膜制造设备的阻抗整合器
2  通信器材的发报线路，同调回路
3  诱电加热设备的共振回路
4  各种高频率电源的电压增幅回路
近年来，由于半导体产业的发展，真空电容器的用途扩大至CVD，蚀刻，滴溅设备等半导体薄膜制造设备阻抗
整合应用领域。
  
真空可变电容器
真空可变电容器是通过移动真空容器内的电极而实现静电容量的变化的电容器。
除了了装置115MM标准的型号，还搭载了耐高压特殊电极的黄金型号，同时通过风箱构造以及增强材质的大电
流低扭矩型（H系列）。

标准型特点  
1  寿命长
    采用高强度的不锈钢风箱，实现可变范围二分之一以下的风箱寿命达100万循环。同时通过高强度特殊螺钉
构造，在可变范围二分之一的情况下实现总回转数1000万以上的长寿命。
2微型化
    陶瓷中心栓与外围共振器一体化从而是微型化得以实现。
    统一设为全长140MM（装置标准115MM），容易实现机器安装时的可更换性。  
  
强电流低扭矩型特点  
        强电流通电
        风扇采用铜合金新材料，可以实现强电流通电。（强电流规格：空冷110Arms、130Arms、150Arms、
160Arms)
        低扭矩
        H系列内部构造得到改良，小于18N.cm的低扭矩使得驱动马达的微型化得以实现。
        长寿命
        采用高强度不锈钢风箱，通过可变范围二分之一以下的风箱寿命100万回转，以及高强度特殊螺钉构造，
能够实现可变范围二分之一的总回转达到1500万以上的超长寿命。
  
真空固定电容器
  
真空固定电容器的诱导体为真空，使用损耗较低的陶瓷作为绝缘体，极大的抑制了损耗系数。从而使电容器即
实现了微型化，又能耐高压和承受强大电流。
特点
    耐高压
    由于绝缘体是真空，绝缘体能承受很高的电压，即使在高电压回路中也安然无恙。
    低损耗
    真空诱电体能极大降低损耗。诱电体的损害只出现在构成真空容器的电容器两端的绝缘陶瓷以及导航用陶瓷
。
    微型化
    通过采用耐高压的特殊电极实现微型化。
型号    峰值试验电压    RF动作电压    静电容量    最大许可容量电容    回转行程    回转数    尺寸
Type  deSCRJPTion    Peak  test    Peak  working    Capacitance    Max.  RF  current    Max.torque    Turns    Dimensions
    voltage    voltage    (Min.-Max.)    (13.56MHz)    　    　    (Length×Diameter)
    (50/60Hz)    (13.56MHz)    　    空冷/Air  cooled    　    　    
SCV-55    5kVp    3kVp    30-500pF    100Arms    24.5N?cm    12回转    L140×φ60mm
SCV-7.55    7.5kVp    4.5kVp    30-500pF                
SCV-151    15kVp    9kVp    10-100pF                
SCV-152            12-200pF                
SCV-152.5            30-250pF                
SCV-510M    5kVp    3kVp    50-1000pF                L140×φ73mm
SCV-514M            90-1400pF                
SCV-155M    15kVp    9kVp    50-500pF                
SCV-520M    5kVp    3kVp    85-2000pF                L140×φ89mm
SCV-1010    10kVp    6kVp    80-1000pF                
SCV-204    20kVp    12kVp    80-450pF                
SCV-155G    15kVp    9kVp    25-500pF    90Arms    24.5N?cm    12回转    L140×φ62mm
SCV-251G    25kVp    15kVp    10-100pF                
SCV-252G            12-200pF                
SCV-252.5G            25-250pF                
SCV-1010G    10kVp    6kVp    50-1000pF                L140×φ73mm
SCV-1014G            90-1400pF                
SCV-205G    20kVp    12kVp    50-500pF                
SCV-1020G    10kVp    6kVp    85-2000pF                L140×φ89mm
SCV-1510G    15kVp    9kVp    80-1000pF                
SCV-250.3G    25kVp    15kVp    6-30pF    27Arms    19.6N?cm    5.5回转    L100×φ60mm
SCV-250.8G            10-80pF    72Arms            
SCV-300.2G    30kVp    18kVp    6-20pF    21Arms            
SCV-104G    10kVp    6kVp    60-450pF    90Arms            L100×φ63mm
SCV-201.7G    20kVp    12kVp    45-170pF                

SCV-7.55H65    7.5kVp    4.5kVp    20-500pF    110Arms    18N?cm    14回转    L154×φ65mm