L10366系列是最新开发的真空紫外（VUV）光源单元。该产品使用了“带MgF2光窗的高亮度氘灯”来产生比传统型号高出4倍的辐照强度。由于使用了空气制冷结构和真空法兰安装，该产品现在更易于操作。
特性
?  高辐照前度：4倍（相比于传统型号）
?  115nm以上的高VUV强度
?空气制冷（无需制冷水）
?外部控制（氘灯ON/OFF，氘灯ON状态信号）
?无需光轴对准
应用
?分光光度计、荧光光度计
?半导体晶片*、LCD板等静电去除
?光离子探测器（PID）
?多种材料的抗紫外性测试
?光化学汽相沉积（Optical  CVD）
?激发光源