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型号 SJ-411 SJ-412
货号 178-580-01 178-580-02 178-582-01 178-582-02
测量范围
X 轴 (检出部) 25mm 50mm
Z 轴 (检出部) 800μm、 80μm、 8μm
* 选配测头最大可到 2,400μm
检出器
检出方式 差动电感方式
分辨率
0.01μm(800μm 范围)
0.001μm(80μm 范围)
0.0001μm(8μm 范围)
测头尖形状 (角度 / 半径) 60o/2μm 90o/5μm 60o/2μm 90o/5μm
测力 0.75mN 4mN 0.75mN 4mN
弯曲半径 40mm
检测方法 无轨式 / 有轨式 (切换)
驱动部 (X 轴 )
测量速度 0.05、 0.1、 0.2、 0.5、 1.0mm/s
驱动速度 0.5、 1、 2、 5mm/s
直线度 0.3μm / 25mm 0.5μm / 50mm
上下倾斜单元 上下移动量 10mm
倾斜角度 ±1.5o
对应标准 JIS1982 / JIS1994 / JIS2001 / ISO1997 / ANSI / VDA
参数 Ra, Rq, Rz, Ry, Rp, Rv, Rt, R3z, Rsk, Rku, Rc, RPc, RSm, Rmax*1, Rz1max*2, S, HSC, RzJIS*3, Rppi, RΔa, RΔq, Rlr, Rmr, Rmr(c),
Rσc, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, A1, A2, Vo, λa,λq, Lo, Rpm, tp*4, Htp*4, R, Rx, AR, W, AW, Wx, 自定义设置