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    二次元测量仪对平面度测量是指被测实际表面对其理想平面的变动量，平面度就是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。平面度误差是将被测实际表面与理想平面进行比较，两者之间的线值距离即为平面度误差值；也可以通过测量实际表面上若干点的相对高度差，再换算以线值表示的平面度误差值。下面了解下检测平面度常用到的方法：
    打表测量法是将被测零件和测微计放在标准平板上，以标准平板作为测量基准面，用测微计沿实际表面逐点或沿几条直线方向进行测量，但不同人测量会有不同的数值，还会对被测物造成损伤。
    塞尺测量直接用塞尺对被测物体进行测量，但容易对测量物表面损坏，测量的数值很不稳定。
    平晶干涉法用光学平晶的工作面体现理想平面，直接以干涉条纹的弯曲程度确定被测表面的平面度误差值。主要用于测量小平面，如量规的工作面和千分尺测头测量面的平面度误差，但只能测量小平面，效率较低。
    二次元对平面度的测量精度很高，零件放置于工作台上，使它可以沿X轴向导轨和Y轴向导轨进行移动，这样就可以实现连续测量。为防止零件的表面在测量过程中被划伤，简化了测量过程，实现了测量的自动化，使得数据处理过程更为简单，计算得到的平面度误差值更为精确。且同一种工件批量测量更加方便快捷，能够提高测量效率。