Hitachi SU8020
日立2011年新推出了SU8000系列高分辨场发射扫描电镜，其中SU8020不光1kv的分辨率提升到1.3nm，并且在探测器设计上有新的突破，配置了Lower、Up-per和Top三个Everhart-Thornley型探测器，可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多种信号，实现微区的形貌衬度、原子序数衬度、结晶衬度和电位衬度的观测；结合选配的STEM探测器，还可以实现明场像和暗场像的观测；此外在半导体应用中，还可以安装EBIC探测器，采集感生电流图像，极大丰富了信号的采集，对样品的信息的收集达到了新的高度。
项目
SU8020
SU8030
SU8040
二次电子分辨率
1.0nm （加速电压15kV、WD＝4mm）
1.3nm （加速电压1kV、WD＝1.5mm）
加速电压
0.1～30kV
观测倍率
20～8000,000(底片输出)
60～2,000,000（显示器输出）
样品台
马达驱动
5轴
REGULUS样品台
行程
X
0～50mm
0～110mm
Y
0～50mm
0～110mm
0～80mm
Z
360°
T
-5～70°
R
1.5～30mm
1.5～40mm
最大装载尺寸
100mm（最大）
150mm（最大）
150mm（最大）
150mm（选配）
200mm（选配）
探头
标配
Lower
高立体感图像
Upper
高分辨SE、LA-BSE图像
Top
SE的电位衬度像、HA-BSE图像
STEM
明场像、暗场像
YAG 探头
BSE图像
半导体探头
BSE图像
EBIC
电子束感生电流图像
EDS
元素分析
反污染措施
冷指
标配
物镜光阑
内置自清洁功能
电子枪
内置加热器
真空系统
离子泵
3台
分子泵
1台
机械泵
1台
日立电子显微镜SU8020特点：
1. 优秀的低加速电压成像能力，1kv分辨率可达1.3nm
2. 日立专利的ExB设计，不需喷镀，可以直接观测不导电样品
3. 配置Lower、Upper和Top三个Everhart-Thornley型探测器
4. Upper和Top探头均可选择接受二次电子像或背散射电子像
5. 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能
6. 标配有冷指、电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能
7. 仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成
选配
