MX61
奥林巴斯MX61/MX61L的特点
半导体/FPD检查显微镜；为用户提供高效率。
MX61适用于最大200mm的样本，而MX61L则可适用于最大300mm的样本。
1、大型载物台搭载：可用于400*300mm液晶基板，300mm晶圆全面检查(MX61L)。
2、采用高NA的透射光聚光镜，图象更锐利。
3、多种观察方式，多种照明方式，多种附件以满足不同应用要求。
4、透射和反射照明可同时使用，极大提高液晶基板观察效果。
5、本信息来自上海富莱光学科技有限公司龙先生。
奥林巴斯MX61/MX61L显微镜的配置
型号
OLYMPUSMX61L型显微镜
光学系统
UIS2光学系统（无限远校正光学系统）
显微镜镜体
射光照明（F.N. 26.5）
12V100W卤素灯泡（预定心型） 明视场/暗视场反射镜可外加1个分光镜组（选配） ，转换使用内置电动孔径光阑（每个物镜可预设，物镜转换时自动转换，暗视场观测时自动打开）
观测方法
①反射光明视场法；②反射光暗视场法；③反射光诺曼尔斯基微分干涉衬比法；④反射光简单偏振法；⑤反射光荧光法；⑥反射光照明法（IR）⑦透射光明视场法；⑧透射光简单偏振法③/④/⑤需要专门的分光镜组。⑦/⑧需要与透射光照明部件配合使用。
观察镜筒
超宽场正像倾斜式三目镜筒（F.N. 26.5） ：MX-SWETTR型
其它：超宽场三目镜筒/宽场双目镜筒
超宽场正像倾斜式三目镜筒（F.N. 26.5） ：MX-SWETTR型或U-SWETTR型（MX-SWETTR是MX61L的标准配置）
18012791287 龙先生
换镜转盘
电动五孔明/暗视野法用转盘，配备滑槽用于微分干涉衬比法观测：U-D5BDREMC型
载物台
MSS-300A：12寸*12寸，行程：356×305mm
原装日本中央精机2轴电动平台，可以进行XY轴同时联动。
带12寸晶圆载物台板。
内置反射光源：100-120/220-240V~1.9/0.9
50/60Hz
能耗
体积/重量
体积：约710（宽）×843（长）×507（高）mm
重量：约51kg（载物台约重31kg）
