质量流量控制系统DGS03主要用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。它们在半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：微电子工艺设备、，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。系统默认配置为：  MAC地址：32；RS485通信波特率：19200；  控制方式：数字。
∮主要技术参数：
流量规格(N2)    （0~5，10，20，30，50，100，200，300，500）SCCM
（0~1，2，3，5，10，20，30）SLM
准确度    ±1.0%  S.P  .      (≥35%  F.S.)
±0.35%  F.S.        (＜35%  F.S.)
线性    ±0.  5%  F.S.
重复精度    ±0.2%  F.S.
工作压差范围（＜0.02MPa）    0.05~0.35Mpa        流量规格≤10SLM
0.1~0.35Mpa            流量规格＞10SLM
温度系数    零点：≤±0.05FS/℃;    调节时:≤±0.1FS/℃
耐压    3MPa
响应时间    ≤2sec
漏率    1×10-10pa.m3/sec  He
密封材料    氟橡胶;      氯丁橡胶
工作环境温度    (5~45)  ℃