国内厂价直供半导体用电子级正硅酸四乙酯/TEOS
正硅酸四乙酯/ TEOS
名称
正硅酸四乙酯(TEOS)
化学式
C8H20O4Si
相对分子量
208.33
CAS号
78-10-4
理化性质
无色透明液体，熔点－77℃，沸点168.5℃，密度0.9346g/ml。在空气中较稳定；微溶于水，在纯水中水解缓慢；在酸或碱的存在下能加速水解作用。
主要用途
主要用于晶圆制造过程中的化学气相沉积（CVD）制程，用于生成二氧化硅和氮化硅薄膜。是半导体、分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的电子化学品。
典型应用
CVD类型
材料
APCVD
TEOS,O3
LPCVD
TEOS
PECVD
TEOS,O2
