Silicon  Microstructures,  Inc.  (SMI)  专业生产各种微结构压力传感器，产品广泛用于汽车制造、医疗设备和工业生产。SMI不仅设计、生产各类微压传感器，并且提供集成化传感器和基于  MEMS  的传感器系统代工服务。  

作为高性能硅压力传感器和加速计的专业生产厂家，SMI  成立于1991年。起初公司专业生产硅低压传感器，如今  SMI  已拥有众多系列的硅微结构传感器，为各类  OEM  客户提供质优价廉的产品。  

2001年4月该公司被专门生产汽车用  ASIC  的  Elmos  半导体公司收购。通过集成  Elmos  的  ASIC  技术和  SMI  的6  英寸晶圆生产工艺，推出高性能、系统化、低价位的新一代完整片上系统微结构传感器。2002年8月  SMI  收购了  IC  Sensors  的晶圆部，03年  SMI  设计出新型6英寸晶圆生产设备，该设备拥有先进的深度离子刻蚀  (DRIE)  和等离子焊接能力。  

主要产品:
1.压力传感器:  SMI  主要生产超低压  (<10  mBar/0.15  PSI)  传感器，同时还提供超小型、带数字校准的裸片。  
2.加速计:  主要为高性能集成化和超小型结构。  
3.MEMS:  专业生产各种微机电系统  (MEMS),  包括超小型导管传感器、应变传感器、湿度传感器、加速计、定制压力传感器等等。  
4.微型封装产品:  SMI  开发出新型用于小输出线集成电路的封装产品，该封装可以使传感器更易于安装在印刷电路板上。  
5.信号处理和系统化组件:  提供各种信号处理模块  (包括传感器芯片组及集成芯片)。  
6.定制化产品:  SMI  还为特殊用途用户提供定制产品。  
应用领域:
1.工业  
■常规加温，通风、空调系统  (HVAC)  和  VAV  控制器  
■I/P  和  P/I  转换器  
2.汽车制造  
■轮胎压力  
■引擎控制  
■气压测定  
3.医疗设备  
■呼吸器，通风机，氧气瓶,  制氧机  
■风速计  
■血压计  
4.常规设备  
■家用电器  
■水下呼吸器和调节器  
■高度计  
封装压力传感器


            
无补偿压力传感器
SM5420

SM5420C

SM5470
  校准压力传感器  

SM5651/SM5652
    放大集成性压力传感器
SM5852

SM5872

SM5822
  


硅压力传感器裸片


    
压力芯片与裸片

SM5102
SM5103
SM5106
SM5108
SM5112