电容位移传感器
  电容位移传感器的测量，  建立在理想化平板式电容原理的基础上，  因此对所有导电材料无需特别的线性校准，  即可得到高精度的测量结果。通过线性校准后，  也可用于对半导体和绝缘体材料的测量。          
        

系列电容式位移传感器的  突出优点，是它的超高分辨率和稳定性。其高超的机械加工精度及完美的信号屏蔽措施使其达到纳米级的精度．高性能电容式传感器的纳米级分辨率使其成为目前纳米技术领域不可或缺的产品。另外，还可将其用于测量非导电目标的位置或其他特性。

  
CP-HR-1电容位移传感器
线性量程        50/80/100/250/500/1250/2000/6000μm  绝对误差          非线性
分辨率                ≤0.02  %  
极限频率          15  kHz
输出信号          0-10  V  /  4-20  mA(选项)
  
CP-HR-C    电容位移传感器（6通道同步）                                                                          线性量程        50/250/500/2500μm
绝对误差          ≤  ±  0.2  %
分辨率                0.008  %(15  kHz)
极限频率          15kHz(-3dB)
输出信号          0-10  V  /  4-20  mA
  
CP-HR-19电容位移传感器                                                                          线性量程        10/20/25/50/80/100/250
/500/1250/2000/2500/6000μm
绝对误差          ≤±  0.2  %
分辨率                    0.0015  %  (15  kHz),                                        极限频率          15  kHz(-3dB)
输出信号          0-10  V
  
M61电容位移传感器
线性量程          0.2/0.5/1/2/3/5/10  mm
绝对误差          ≤±  0.3  %(标准型)  ,  ≤±  0.1%(特别校订)
分辨率                ≤0.015  %  
极限频率          10  Hz  /  2  kHz(可调)
输出信号          0-10  V  /  4-20  mA(选项)
  
M63电容位移传感器
线性量程          0.05/0.2/0.5/1/2/3/5/10  mm
绝对误差          ≤  ±  0.2  %
分辨率                0.001  %(2  Hz),  0.01  %(8  kHz)
极限频率          8kHz(-3dB)
输出信号          0-10  V  /  4-20  mA
  
M65电容位移传感器
线性量程          0.2/0.5/1/2/3/5/10  mm
绝对误差          ≤±  0.3  %
分辨率                0.1  %  (50  kHz),  0.05  %  (20  kHz),  
                                        0.025  %  (5  kHz),  0.006  %  (20  Hz)
极限频率          50  kHz(-3dB)
输出信号          0-10  V
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