薄膜电阻(Thin Film Precision Chip Resistor)：采用真空或溅射工艺在陶瓷基片上喷溅厚度为 50 ? 至 250 ? 的金属沉积层。薄膜电阻单位面积阻值高于线绕电阻或 Bulk Metal® 金属箔电阻，而且更为便宜。在需要高阻值而精度要求为中等水平时，薄膜电阻更为经济并节省空间。

金属膜精密电阻的主体通常为圆柱形，南京南山当前提供的晶圆电阻列当前在15ppm~100ppm和百分之一~千分之一精度范围内最大可以实现1W的额定功率。

合金电阻在超低阻值领域（mΩ级别）具有巨大的优势，目前南山批量供应产品中最低达到1毫欧，精度范围1%~5%；温度系数范围50~250ppm/℃，2512封装可提供2W的额定功率。

与目前市场上主流的阻值为1%和5%厚膜贴片电阻相比，精密贴片电阻在精度上提高了2个数量级，民用最高精度达到万分之一精度。由于高精密电阻采用了特殊的类蒸发的方法将一定电阻率材料蒸镀于绝缘材料表面制成，在保证极高精度的前提下，同时实现了温度系数的的大幅度降低，从常规厚膜贴片电阻的最低100ppm降低到5ppm。可以更好的满足一些精密仪器产品中如医学仪器、测试/测量设备、打印设备、自动设备控制器、转换器、先进通讯设备、高档手机对阻值以及温度系数（温漂）有更苛刻的要求。

目前薄膜精密电阻常见的精度为A挡0.05%即万分之五精度、T挡0.01%万分之一精度、B挡0.1%即千分之一精度、C挡0.25%即千分之2点5精度、D挡0.5%即千分之五、F挡即1%精度等6个等级。同时精密电阻要求其温度系数也要非常低，常见为5ppm、10ppm、25ppm、15ppm、50ppm等。