?高精度控制能够进行灵敏度为0.3kPa（1mmHg），反复再现性为0.13kPa（±1mmHg）以内的高精度的真空控制。优异的压力特性对于次压力变化，设定压力变动为1.3kPa（10mmHg）以内。大流量类型能够进行流量达到／的控制，因此应用于大流量的使用。应答性良好，对于次侧的压力变动反应灵敏。
规　格
项目    RV?S－1－2    RV－1－2    RV－1－3
使用流体    空气(真空)
压力设定范围  kPa    -1.3  ～  -100（  10  ～  750  ）
灵敏度　kPa    13.3（0.1）
反复再现性  kPa    ±0.13（±1）以内
使用温度范围　℃    5～60
流量　l/min(normal)    200    270
配管连接口径　Rc（PT）    1／4    3／8
托架    标准装备
质量　kgf    0.5    0.65