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（四）GMR（MTJ）磁传感器研究如火如荼 GMR磁传感器具有体积小、功耗低、灵敏度高等显著特点，有望应用于无人机反潜、微纳卫星及智能引信等领域，是当前小型化高性能磁传感器研究的热点方向。自1988年首次发现GMR效应以来，有关GMR的结构和理论得到迅速发展，从最初的三明治结构到多层膜结构，再到自旋阀结构及最新的磁隧道结（MTJ）结构等，磁阻变化率和磁场灵敏度不断提高。2006年，S.Yuasa等发表了在室温氧化镁基MTJ中获得最大磁阻变化率410%的结果。2007年，R.C.Chaves等在直径26微米的柱状氧化镁基MTJ中（带磁偏置和磁力线聚集器）获得了极高的磁场灵敏度（87%/Oe），但其低频磁场分辨力仍只有330pT/sqr(Hz)（@2.5Hz）。人们在对多种GMR磁阻材料进行研究后发现，随着磁场灵敏度的提高，磁性噪声也随之增加，且随频率呈1/f特征变化。2009年，美国国家标准及技术研究院、特拉华大学及美国陆军实验室合作研究得出了MTJ的噪声理论模型，模型显示提高磁场灵敏度无法抑制磁性热噪声和磁性1/f噪声，且体积越小噪声特性越差。近年，美国陆军实验室的A.S.Edelstein等首次提出了磁力线聚集调制技术，该技术利用MEMS结构驱动磁力线聚集器，使其磁场增益产生周期性变化， 进而使处于磁力线聚集器附近的GMR 敏感单元能够探测到一个调制后的 交流磁场信号，有效克服磁性1/f噪声的影响，使GMR磁传感器的分辨力有望达到pT级。

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