（一）等离子发射源VEGA-500

1.输出功率：0-500W± 1%；

2.射频频率：13.56 MHz±0.005% ；

3.匹配：自动；

4.射频接口：50Ω, N-type；

5.噪音：<50 dB；

6.冷却：风冷；

7.电源：AC187-253V, 50/60Hz   

（二）真空泵机组RV3

1.采用进口爱德华真空泵，真空度达 1.5 x 10-3 Torr 2.KF25快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连；

3.管内真空可达10E-2 Torr；

4.防腐型进口英富康数字式真空显示计，其测量范围为5×10-5- 1500mbar，测量精度可达0.1，测量不同气体种类不需要系数转换。

（三）质量流量计D07-26

1.四个精密的质量流量计 ：数字显示，自动控制；

流量范围：

2.MFC 1范围：0-100 sccm；

3.MFC 2和3范围：0-200 sccm ；

4.MFC 4范围：0-500 sccm ；

5.一个混气罐，底部装有泄废液口；

6.四个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制4种气体；

7.进气口：4个1/4NPS；

8.出气口：4个 1/4NPS。

流量控制：手动旋转式调节

连接方式：双卡套连接

（四）管式炉

1.管式炉采用含钼电阻丝为加热元件，加热区域：双温区，每个温区300mm，炉管长度Φ80mmX1600mm，滑轨式设计，可实现快速降温和升温；

2.加热温区分为两个温区，加热更均匀，采用多段程序控温，两个温控系统单独控温，控温精度高；

3.配有水冷法兰，降低硅胶圈周围的温度，防损坏

加热形式：   含钼电阻丝

4.加热功率：   <6KW（以实际功率为准）

5.电源电压：   220V，50Hz

6.炉管尺寸：   Φ80mmX1600mm

7.加热区域：   双温区  两个温区长度分别为300mm

8.控温精度：　 ±1℃

9.炉体结构：炉体带滑轨可实现快速升温，降温

10.温控形式：两个温控表单独控温，控温精度高8.出气口：4个 1/4NPS。