RTP快速退火炉的主要技术参数如下  
加热元件：卤素电极；  
电极数量：12支；
整机功率：7.2KW；
升温速率：200℃/Second；
降温速率：30秒(1000℃  →  400℃)；
最高温度：1100℃；
温度精度：+/-  1℃；
最大样品尺寸：4英寸；
气氛环境：真空、气体（氮气、氩气、氧气）、空气；
真空系统：可根据实际需要选配无油机型泵或者分子泵
应用领域：
-快速热退火  
  -  快速热氧化  
-  快速热氮化
  -  硅化  
-  扩散  
-  化合物半导体退火  
-  离子注入后退火
-  电极合金化
-  晶向化和坚化  
-  合金熔点分析;
-  薄膜沉积;    等等…