应用：光学镜片、触摸屏、LCD、CMOS、IC制程烘烤  
          
        特点：  
          
        1.  内、中桶材质采用SUS304＃无磁性镜面不锈钢，外膛采用  SS41#  中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆，可防止微尘(PARTICLE)  
          
        2.  全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生PARTICLE  
          
        3.  耐高温湿日制HEPA  FILTER(99.99%)，能有效过滤微尘而达到洁净等级class100＃。