青岛高温扩散炉厂家
扩散炉技术协议
1.用途：
扩散炉主要是完成半导体元器件的扩散，氧化、退火、钎焊等工艺，具有应用范围广，安全可靠、控制精度高等特点。
2.设备名称              扩散炉
3.型号                      L4611II-Z/RZQ
4.规格                      石英玻璃管有效直径Φ210mm×1600㎜，管壁厚度5-6  mm。加热器有效直径大于240mm。管数1～3层。或耐热不锈钢管
5.主要配制：
5.1主机
5.2温度控制
5.3气路
5.4扩散室（石英管）
5.5功率：30千瓦
6.主要技术指标
6.1最高温度    ，1300℃）
6.2使用温度                                                  300℃—1250℃  
6.3恒温区长度和精度                                大于等于600mm（或按用户要求）
6.4单点控温精度、重复性                小于±0.5℃/24h（600℃～1100℃）
6.5升温功率                                              小于    25KW
6.6开机重复性                                        ±1℃
6.7保温功率                                                  9kw
6.8.升温斜变能力：升温速率1℃～15℃/min可控,降温速率1℃～5℃/min可控。
6.9.  气体流量                    0—20L/min（可调）
6.10.  湿气                    0—10/min
6.11.电源                          3相4线  ，380V/50Hz