液体高精度冷冻机采用三级重叠冷冻机组。
  冷冻机组主要包括制冷压缩机、油分离器、预冷器、循环泵、干燥过滤器、冷凝器、蒸发器、节流机构、载冷剂罐、控制柜等。
  系统工艺流程简介如下：
  机组蒸发器里面的液态制冷剂经过与导热油换热，温度升高，由液态变为气态，被压缩机吸气口吸入，经过压缩机压缩后的高温高压制冷剂气体先经过油分离器，将压缩过程中携带的冷冻机油分离干净，而后进入冷凝器，经过与冷却水换热，由高温高压的气体变为高压常温液体。高压常温的制冷剂液体，经干燥过滤器，而后经过膨胀阀节流降压，即由高压液体变为低压液体。低压液体（沸点较低）进入机组蒸发器管程，与蒸发器壳程里面的载冷剂进行热交换，交换后升温的气态制冷剂进入压缩机吸气口，循环压缩。冷却水进入冷凝器，与气态制冷剂换热后，温度升高，然后从冷凝器流出，返回水循环系统。循环系统采用全密闭设计，确保膨胀系统与循环系统隔离。
  设备使用条件
  2.1 环境条件
  制冷加热系统应具备在下述条件正常工作的能力：
  a) 环境温度：0℃～+40℃，当环境温度低于0℃时，应将设备中存留的水排放干净；
  b) 环境湿度：不超过90%RH；
  c) 环境气压：86kPa～103kPa；
  d) 周围环境无高浓度粉尘及腐蚀物质；
  e) 通风散热良好。
  2.2 供电条件
  制冷系统所需电力由需方提供，具体如下：
  a) 电源电压范围：（380±38）V，三相四线+保护地线；
  b) 电源频率范围：（50±0.5）HZ；
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