新型Fabry-Perot开放式谐振器(FPOR)是具有高斯镜、用于自动宽带和20-50 GHz(或20-110 GHz)频率范围内低损耗电介质平板样品电磁特性的准室温谐振测量系统。FPOR系统配备有专用软件,该软件控制测量过程并从测量的频率和Q因子中提取被测材料的复介电常数。
整个测量装置由一台安装有专用软件的计算机组成,并连接到FPOR和测量设备(VNA或微波频率计Q-Meter)。FPOR以每1.5 GHz间隔的连续TEM0,0,q高斯奇数模式工作。
开放式谐振器由于在控制软件中运用了复杂的自适应算法,其专用于在测量过程中对模式进行准而可靠的跟踪,因此总测量时间通常不超过10分钟。
类型
参数
测量精度(厚度h)
Δε/ε=±0.5% (ε=1…15)
Δtanδ/tanδ=±2% (tanδ ≤ 2%)
工作频率
20-110 GHz(如需50 GHz以上需要扩频器)。
FPOR以每1.5 GHz间隔的连续TEM0,0,q高斯奇数模式工作。
工作温度范围
室温
测量方法
整个测量是自动化的,并通过安装在计算机上的专用软件进行控制。首先,测量空谐振器的TEM0,0,q奇模的谐振频率和Q因子。然后将样品插入支架,并自适应地寻找所有感兴趣的模式,并测量变化的谐振频率和Q因子,以便将结果与通过专用的FPOR电磁模型计算得到的查找表进行比较来提取介电常数和损耗角正切值 。
样品尺寸
样品厚度应在50μm-3mm的范围内,而直径应超过75 mm。
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QWED FPOR开放式谐振器
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