超高精影像测量机的特点采用高精度气浮轴承线性导轨系统，从而将直线度误差减少到最小。采用分辨率为 0.01mm 的玻璃光栅尺，此玻璃光栅尺由位于地下 11 米处的高精密工厂制造。通过使用热膨胀系数几乎为零的玻璃光栅尺，将温度变化对精度的影响减少到最低。使用有限元方法 （Finite Element Method） 分析优化主机的机械结构。稳定的几何量精度
超高精影像测量机的性能参数
型号 ULTRA QV404 PRO
测量范围 X 轴 400mm
Y 轴 400mm
Z 轴 200mm
分辨率 0.01?m
高灵敏度 CCD 照相机 黑 & 白
精度 *（20?C±0.2?C）
E1XY （0.25+L/1000）?m
E1Z （1.5+2L/1000）?m
[（1+2L/1000）?m: 10 - 60mm]
E2XY （0.5+2L/1000）?m
超高精影像测量机最大驱动速度 （X/Y/Z 轴） 150mm/sec
照明（PRL: 可编程环形照明）
表面 卤素灯
轮廓 卤素灯
PRL 卤素灯
放大倍率转换系统 可编程电动转盘
工作台玻璃尺寸 493 x 551mm
超高精影像测量机台面最大承重 40kg
尺寸 （W x D x H）** 1200 x 1735 x 1910mm
重量 ** 2150kg
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