本周客户定制派瑞林HT沉积设备顺利完工，此设备用于聚对二甲苯的真空气相沉积，可沉积的聚对二甲苯型号有HT型、N型、C型、D型、F型，涂敷后的产品（如硅片、芯片、玻璃、陶瓷板等），可达到防霉菌、防潮湿、防盐雾的防护效果，并且对于芯片、硅片等产品也有耐压和隔绝水氧的功能，从而延长产品的寿命，提高产品的可靠性。其中HT型的防护性能*佳，HT型材料涂层具有介电常数、良好的稳定性和防水、防霉、防盐雾性能，短期耐温可达450度，长期耐温可达350度，抗紫外线能力强。适合作为高频微波器件的保护材料，满足ISO-10993生物试验要求，满足UDP VI类塑料生物试验要求。

Vpc-300-HT派瑞林镀膜机的特点：

1、设备配备常温、低温沉积双系统，既可支持派瑞林派瑞林N、派瑞林C、派瑞林F、派瑞林D的常温沉积，亦可支持派瑞林HT的低温沉积。

2、派瑞林HT粉配备冷循环系统，HT镀膜载物架可单独单独拆卸，独立控制。

3、采用偶联剂蒸发装置，提高派瑞林涂层和产品表面的结合力。

4、常温沉积时配备实时膜厚检测仪，可实时监测腔体产品镀膜厚度，精度可达0.1nm。

5、气化可以移动保证发生断电、误操作、设备故障等意外情况下迅速去掉热源，保证在发生意外时原料不再进行挥发，保证产品安全。（派珂纳米设计）

派瑞林大家族中我们普遍有使用到Parylene N、Parylene C、Parylene F、Parylene D，而Parylene HT材料接触很少，这是因为Parylene HT：

1、材料稀缺，由于加工工艺的限制，全球都还没有加工厂可以百公斤等级的生产制造，除此之外由于很有可能运用到军用系统软件，国外对内地销售市场一向采用限售。

2、价格昂贵，1公斤价格在8万人民币以上。

3、利用率低，Ht粉由于裂化后单体活性高，造成在产品外型的涂膜率比N、C、F都要低。

4、沉积设备要求高，由于裂化后的单体活性高，因而必需降消堆积室的溫度（0℃以下），必需对原有的常温沉积派瑞林机器设备进行改造或单独定制沉积HT粉设备。

但即便如此，Parylene HT依然有它的市场热度，这是因为Parylene HT膜在耐温、抗紫外辐射方面的优良效果，是其他派瑞林家族成员根本无法达到的。