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04 27 2026

真空钎焊蓝宝石观察窗 | 金属键合密封  蓝宝石密封  真空蓝宝石

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来源:[淄博晟元新材料科技有限责任公司]
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品牌:
价格:面议 元/
供应地:山东省淄博市
产品型号:

产品核心卖点

  • 永久性金属密封:高温真空钎焊工艺,无O圈老化风险,从根本上保证超低漏率。
  • 超低泄漏率:氦质谱检漏实测漏率稳定1×10?1? mbar·L/s,可选配至<2×10?11 mbar·L/s。
  • 宽温域工作:从容应对 -100 低温至 +450 高温烘烤,完美适配超高真空系统。
  • 光学级镜片:精选单晶蓝宝石,透光范围覆盖150nm至5500nm,兼具高硬度与强抗腐蚀性。

一、产品概述

本产品是一款专为超高真空及极端环境设计的高性能观察窗。其核心采用光学级单晶蓝宝石(α-Al?O? 作为窗口材料,通过精密的高温真空钎焊技术,与304/316L不锈钢或钛合金法兰实现无氧环的金属键合密封

这种一体化的金属连接结构,彻底摒弃了传统氟橡胶或O圈的密封方式,能够在-100℃至450℃的宽温域下保持极低的泄漏率,是半导体PVD/CVD设备、分子束外延(MBE)、红外探测器杜瓦、高压反应釜及深海探测等尖端领域进行工艺观察或光学传输的理想窗口组件。


二、核心优势解析

优势项目

详细技术说明

专-利级真空钎焊

采用自主研发的高真空钎焊工艺,焊料层致密均匀,无气孔缺陷,确保漏率低于1×10?1? mbar·L/s,轻松应对UHV/XHV级真空挑战。

无磁性定制方案

可为医疗MRI、高能物理等场景提供钛合金或316无磁不锈钢法兰,并搭配非磁性焊料,消除电磁干扰。

宽光谱高透过率

标准未镀膜镜片透光范围即达150~5500nm,可见光透过率≥85%。可按需定制AR增透膜、DLC耐磨膜,透过率*高可提升至99%以上。

极端环境耐受性

蓝宝石本体熔点高达2050,耐多数酸碱腐蚀(除强碱外);金属法兰耐温-100~450,推荐升温速率≤3/min,避免热冲击。

耐高压结构设计

针对高压反应釜或深海应用,可定制加厚镜片和金属C-ring端面密封结构,*高可承受200 psi(约1.38 MPa)的内外压差。


三、详细技术参数

参数类别

标准指标

密封工艺

高温真空钎焊(金属键合,无弹性体)

泄漏率

< 1×10?1? mbar·L/sHe质谱,标准值)

法兰标准与材质

CF / KF / ISO-F / VGF304L / 316LN不锈钢、钛合金(无磁)

窗口材料

光学级单晶蓝宝石(α-Al?O?

可定制窗口直径

Φ10 mm ~ Φ160 mm以上

厚度范围

1 mm ~ 30 mm(可定制更厚以满足高压需求)

透光范围(未镀膜)

150 nm ~ 5500 nm

透光率 @ 可见光

≥85%(标准未镀膜)

面型精度

≤ λ/4 @633nm(标准品);λ/10(高精度品)

表面质量

20/10 划痕/麻点(光学级标准)

工作温度区间

-100 ~ +450

晶向选项

C (0001)A面、R面(用于优化双折射效应)


四、蓝宝石材料性能对比

性能

蓝宝石 (Sapphire)

石英 (Fused Silica)

普通硼硅玻璃

硬度(莫氏)

9(优异抗划伤)

5.5

5.5-6

透光范围

0.15~5.5 μm(紫外至中红外)

0.18~2.1 μm

0.35~2.0 μm

极限耐温

~1900

~1100

300~500

真空钎焊兼容性

? *

? 难实现

? 不适用

耐化学性

极强(除强碱外)

较强

一般


五、典型应用场景

  • 半导体与光电:PVD/CVD/ALD镀膜腔体、刻蚀机、离子注入机观察窗。
  • 科研与国防:超高真空MBE系统、同步辐射线站、红外导引头整流罩、星载光学密封窗。
  • 激光与红外:高功率激光输出耦合窗、红外焦平面探测器杜瓦窗口。
  • 重工与化工:高压反应釜视镜、深水机器人耐压舱光学窗口、腐蚀性流体管道视镜。



六、深度定制选项

我们拥有雄厚的设计与加工能力,可提供全方位的定制方案:

  • 光学镀膜:单/双层增透膜、宽带增透膜、ITO透明导电膜、DLC类金刚石保护膜。
  • 异形加工:方形、矩形、台阶型窗口,以及特殊开孔设计,直径或长边可达200mm以上。
  • 耐压增强:根据您的工作压力,正向设计镜片厚度和法兰结构,确保安全系数。
  • 无磁组件:全套法兰、焊料、镜片座无磁性升级,出具无磁检测报告。

七、采购须知(FAQ

Q1:是否每件产品都提供漏率测试报告?
A 是的,每一片观察窗在出厂前均100%经过氦质谱检漏仪的严格测试,随货附有详尽的出厂检漏数据报告。我们也可协助委托国家级第三方计量机构检测。

Q2:钎焊观察窗最大的优势是什么?
A 与O圈密封相比,钎焊金属键合密封具有永久性、放气率极低、耐450高温烘烤的特点,是获得并维持超高真空(UHV/XHV)的关键部件,没有弹性体老化导致泄漏的隐患。

Q3:起订量和交货周期是怎样的?
A 标准CF/KF法兰规格1件即可起订,常用型号现货3-5个工作日发出。特殊尺寸、镀膜或无磁性等定制需求,*2件起订,交期通常为15-30个工作日,详情请与我们的销售工程师沟通。

Q4:如果用于承受外部高压,如深海环境,应该怎么选型?
A 标准品主要针对真空腔内低压环境设计。如需承受外部高水压/气压,必须在询价时明确提出,我们的工程师会选用加厚蓝宝石镜片和金属C-ring密封结构,为其定制耐压版本,*高可承受200 psi(约1.38 MPa,等效138米水深)。更高耐压需求亦可评估定制。

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