一、产品定义与适用范围
铍窗是以高纯度金属铍(Be)为基材制成的X射线/γ射线输出窗口及真空隔离组件。铍原子序数为4,是稳定金属中原子序数最小的元素,对X射线具有优异的穿透能力,同时能够可靠隔离设备内部真空环境与外界大气,是X射线管、CT球管、同步辐射束线及射线探测设备中的关键组件。
核心功能:
适用范围:
应用领域
厚度范围
直径/尺寸范围
医用CT/工业CT
0.5 mm – 4.0 mm
φ10 mm – φ100 mm
同步辐射束线
0.1 mm – 5.0 mm
φ3 mm – φ150 mm
X射线分析设备
0.025 mm – 0.3 mm
φ10 mm – φ30 mm
安检/无损检测
0.5 mm – 1.0 mm
φ10 mm – φ50 mm
高功率辐射装置
2.0 mm – 5.0 mm
φ20 mm – φ150 mm
二、材料物理性能
性能参数
数值
单位
原子序数
4
—
密度
1.84
g/cm3
弹性模量
275
kN/mm2
熔点
1,285
℃
热传导率
180
W/(m·K)
线性膨胀系数
11.6×10??
/K
抗拉强度
275–635
N/mm2
屈服强度
205–410
N/mm2
延伸率
1–20
%
说明:铍对X射线的穿透率约为相同厚度铝的17倍,兼具轻量化(密度约为铝的2/3)与高刚性(弹性模量约为铝的3.7倍)的特点。
三、尺寸规格与公差
标准尺寸:
形状
尺寸范围
公差
圆形
φ10 mm – φ90 mm
±0.2 mm
矩形
宽0–120 mm,长0–120 mm
≤75 mm:±0.2 mm
板厚公差:
厚度范围
公差
0.03 – 0.10 mm
±0.01 mm
0.10 – 0.30 mm
±0.05 mm
0.30 – 2.0 mm
±0.1 mm
扩展定制:
四、纯度与化学成分
纯度等级
铍含量
典型应用
标准级
≥98%
常规X射线设备
工业级
≥98.5%
CT球管
高纯级
≥99.0%
医疗成像、高精度分析
IF-1级
≥99%(抛光)
同步辐射超高真空
超高纯级
≥99.6%
XRD、高分辨率实验
CT球管弧形铍片杂质限值(质量分数):
五、CT球管用铍窗
技术参数:
参数
指标
厚度
0.5 mm – 4.0 mm
直径
φ10 mm – φ50 mm
厚度公差
±0.05 mm
管电压
*高160 kV
阳极输入功率
24 kW – 53.2 kW
漏气率
≤3×10?? Pa·m3/s
表面粗糙度
≤3.2 μm
密度
≥1.84 g/cm3
形状与外观:产品应为弧形,表面光洁、平整、亚光、色泽均匀,无裂纹、划痕。
推荐选型:
应用
厚度
直径
纯度
医用CT
0.8–1.0 mm
φ20–30 mm
≥98.5%
工业CT
1.0–1.5 mm
φ25–50 mm
≥98.5%
安检设备
0.5–0.8 mm
φ10–25 mm
≥98.0%
六、同步辐射(科学大装置光源)用铍窗
技术参数:
参数
指标
厚度
0.1 mm – 5.0 mm
有效直径
φ3 mm – φ150 mm
矩形最大
80 mm × 30 mm
纯度
IF-1级(≥99%)或超高纯级
表面粗糙度(精密级)
≤0.1 μm
真空度
≤2×10?1? Torr
烘烤温度
*高150℃
X射线能量范围
5–30 keV
氦泄漏率(高真空型)
≤5×10?11 Pa·m3/s
水冷一体化设计:
结构选项:平面单窗、水冷双窗、水冷通道+凸台强化(316L基座)、大面积矩形窗。
七、真空密封性能
等级
氦泄漏率
适用场景
超高真空型
≤5×10?11 Pa·m3/s
同步辐射
高真空型
≤1.0×10?1? Pa·m3/s
同步辐射光束线
标准型
≤5×10?? Pa·m3/s
常规真空
CT球管型
≤3×10?? Pa·m3/s
CT球管
封接工艺:
真空钎焊前建议镀镍或镀银以改善润湿性。
八、表面处理
等级
表面粗糙度 Ra
适用场景
标准级
≤3.2 μm
CT球管
精密级
≤0.1 μm
同步辐射、高精度光学
超精密级
≤0.04 μm
超高真空
镜面级
<0.5 nm
特殊光学系统
处理工艺:精密机械抛光、化学机械抛光(CMP)、镀镍/镀银。
九、质量检测
检测项目
方法
化学成分
ICP-AES、红外吸收法
密度
致密金属密度测定法
尺寸公差
几何公差检测
氦泄漏率
氦质谱检漏法
表面粗糙度
轮廓仪/原子力显微镜
外观
目视检查
检验规则:出厂检验(每批)和型式检验(重大变更)。产品应在ISO 9001体系下生产,超高真空产品需在100级洁净室装配。
十、安全与使用注意事项
毒性警示:铍及其化合物具有毒性,操作时必须佩戴防护手套,在通风良好环境中进行。禁止打磨、抛光等产生粉尘的操作。废弃铍窗按有害废弃物处置。
使用要求:
十一、定制与订购
可定制项目:非标尺寸/形状、更高纯度(*高99.9%)、特殊厚度(100 μm–5 mm)、表面处理等级、水冷结构(单窗/双窗/通道)、法兰类型(CF/ISO/KF)、CT球管弧形铍片。
订购信息:应用类型、窗口形状、外形尺寸、厚度、纯度等级、表面粗糙度要求、真空密封等级、是否水冷、法兰类型、数量、特殊要求。
本规格书为通用技术规范,最终以双方确认的技术协议为准

>75 mm:±0.5 mm
Al ≤0.10%、Si ≤0.06%、Fe ≤0.13%、Mg ≤0.08%、BeO ≤1.5%、C ≤0.15%。
04
23
2026
铍窗焊接成套加工 铍窗钎焊
来源:[淄博晟元新材料科技有限责任公司]
联系人:于女士
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