真空探针台可实现高真空环境下的高温及低温电学性能测量，真空腔一体成型，具有设计合理，真空度稳定，温控精度及机械精度高等特点；根据测试温度范围不同，可单选高温或低温等相应组件，温度可达到400℃，低温部分采用液氮或液氦冷却组件，温度可低至-196℃，；真空系统可选机械泵或分子泵系统，真空度可达到10-3Torr或10-6Tor。
高低温真空探针台应用：
可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析，如：半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMS，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。
技术参数；
真空腔体
类型
高温型室温到400℃
高低温型 室温到400℃ 室温到-190℃
腔体材质
6061铝合金 （304不锈钢可选）
腔体内尺寸
127mmX57mmX20mm
腔体外尺寸
150mmX80mmX32mm
腔体重量
不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG
腔体上视窗尺寸
Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）
腔体抽气口
KF16法兰（其余接口规格可转接）
腔体真空测量口
KF16法兰（其余接口规格可转接）
腔体进气口
公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选
腔体冷却方式
腔体水冷+上盖气冷
腔体水冷接口
6mm快拧 或 6mm快插
腔体正压
≤0.05MPa
腔体真空度
机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）
样品台
样品台材质
不锈钢
样品台尺寸
26x26mm
样品台加热方式
电阻加热
电阻加热 液氮制冷
样品台-视窗 距离
11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm）
样品台测温传感器
PT100型热电阻
样品台温度
室温到400℃
室温到400℃ 室温到-190℃
样品台测温误差
±0.5℃
样品台升温速率
高温100℃/min 最大值 低温7℃/min
温控仪
温度显示
7寸人机界面
温控类型
标准PID温控 +自整定
温度分辨率
0.1℃
温控精度
±0.5℃
温度信号输入类型
PT100 （可选K S B型热电偶）
温控输出
直流线性电源加热
直流线性电源加热+液氮流速控制器
辅助功能
温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口
温控器尺寸
32cmX170cmX380cm
温控器重量
约5.6KG
可扩展电学测试
探针
电信号接头
配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米
电学性能
绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA
探针数量
4探针（可扩展5探针）
探针材质
镀金钨针 （其他材质可选）
探针尖
10μm
手动探针移动平台
X轴移动行程
20mm ±10mm（需手动推动滑台）
X轴控制精度
≥500μm
R轴移动行程
120° ±60°（需手动旋转探针杆）
R轴控制精度
≥500μm
Z轴移动行程
2mm ±1mm
Z轴控制精度
≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）
07
04
2024
探针冷热台 物理性能测试仪器 真空探针台
来源:[郑州科探仪器设备有限公司]
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