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06 28 2023

台式真空溅射仪器 功率可控磁控溅射仪 晶振片膜厚控制仪  磁控真空溅射仪  小型真空溅射仪  金属铜靶材蒸镀仪器

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来源:[郑州科创实验仪器设备有限公司]
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品牌:郑科探
价格:38600.00 元/台
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产品型号:KT-Z1650PVD

KT-Z1650PVD是一款小型台式溅射功率可控磁控溅射仪,仪器虽小功能齐全,配备有电压 电流反馈,样品台旋转,样品高度调节,及电动挡板功能。通过定时调节预溅射功率及薄膜沉积功率,可对大部分金属进行均匀物理沉积,真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜。


一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料,且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点,

      磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅射,必须有效地提高气体的离化率。磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场,利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。

 


水冷型溅射仪,KT-Z1650PVD,是一种紧凑型全自动溅射镀膜机,使用非常简单。由于独特的插件概念,该设备很容易配置溅射或蒸发,只需更换工艺头。涂层前后可进行等离子处理。模块化设计使得避免金属和碳沉积之间的交叉污染变得容易。

高度调节和倾斜。它可以安装一个可选的变速旋转阶段或旋转行星阶段,每个选择持有不同的样本和存根类型。在所有样品阶段,膜厚监测都作为标准。.
?高性能溅射、碳涂层和等离子处理
?获得的碳线轴–最多50个碳涂层,无需用户干预
?独特的即插即用溅射和碳涂层模块
?真空性能和快速泵送时间

 

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