基本参数

X向量程：100mm

X轴检测方法：高精度光栅传感器/分辨率：0.2μm

X轴测量速度：0.1,0.2,0.5,1mm/s，自定义

X轴直线度：1.2μm/100mm

Z向量程：320mm

轮廓部分精度：

Z1向量程：±2mm，±5mm

X轴精度：±（3+0.02L）μm

Z1轴精度：±0.3%f.s.

Z1轴量程与分辨率比例： 65536:1（16位）

Z1轴传感器类型：差动变压器，2段式

驱动方式及速度：  X轴  Z轴 均为电动 4档,可自定义速度

粗糙度部分精度：

传感器量程范围：840μm/200μm

Z1轴传感器分辨率：13nm（840μm量程时）/  3nm（200μm量程时）

测量重复性：±4%

线性精度： ±7%

截止波长：0.025,0.08,0.25,0.8,2.5,8mm

评定长度：λc X 3,4,5,6,7