水冷型溅射仪,水冷型溅射仪,KT-Z1650PVD,桌面式小型溅射仪,内配自动电动挡板,可保护样品或清洗靶材。KT-Z1650PVD,是一种紧凑型全自动溅射镀膜机,使用非常简单。由于独特的插件概念,该设备很容易配置溅射或蒸发,只需更换工艺头。涂层前后可进行等离子处理。模块化设计使得避免金属和碳沉积之间的交叉污染变得容易。
高度调节和倾斜。它可以安装一个可选的变速旋转阶段或旋转行星阶段,每个选择持有不同的样本和存根类型。在所有样品阶段,膜厚监测都作为标准。.
*触摸屏控制,工艺记忆储存方便镀相同样品
*自动化电动挡板,能自动打开关闭,保证镀样时间和保护样品
*石英+不锈钢腔体,方便观察和清洗
水冷型溅射仪,技术参数;
控制方式
7寸人机界面 手动 自动模式切换控制
溅射电源
直流溅射电源
镀膜功能
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
功率
≤1000W
输出电压电流
电压≤1000V 电流≤1A
真空
机械泵 ≤5Pa(5分钟) 分子泵≤5*10^-3Pa
溅射真空
≤30Pa
挡板类型
电控
真空腔室
石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm
样品台
可旋转φ62 (可安装φ50基底)
样品台转速
8转/分钟
样品溅射源调节距离
40-105mm
?高性能溅射、碳涂层和等离子处理
?获得的碳线轴–最多50个碳涂层,无需用户干预
?独特的即插即用溅射和碳涂层模块
?真空性能和快速泵送时间
07
05
2022
水冷型溅射仪 溅射仪带水冷 磁控溅射带水冷 小型溅射仪带水冷
来源:[郑州科探仪器设备有限公司]
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元/台
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产品型号:KT-Z1650PVD

