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07 05 2022

水冷型溅射仪  溅射仪带水冷  磁控溅射带水冷  小型溅射仪带水冷

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来源:[郑州科探仪器设备有限公司]
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品牌:郑科探
价格:面议 元/台
供应地:
产品型号:KT-Z1650PVD

水冷型溅射仪,水冷型溅射仪,KT-Z1650PVD,桌面式小型溅射仪,内配自动电动挡板,可保护样品或清洗靶材。KT-Z1650PVD,是一种紧凑型全自动溅射镀膜机,使用非常简单。由于独特的插件概念,该设备很容易配置溅射或蒸发,只需更换工艺头。涂层前后可进行等离子处理。模块化设计使得避免金属和碳沉积之间的交叉污染变得容易。

高度调节和倾斜。它可以安装一个可选的变速旋转阶段或旋转行星阶段,每个选择持有不同的样本和存根类型。在所有样品阶段,膜厚监测都作为标准。.
?高性能溅射、碳涂层和等离子处理
?获得的碳线轴–最多50个碳涂层,无需用户干预
?独特的即插即用溅射和碳涂层模块
?真空性能和快速泵送时间

*触摸屏控制,工艺记忆储存方便镀相同样品

*自动化电动挡板,能自动打开关闭,保证镀样时间和保护样品

*石英+不锈钢腔体,方便观察和清洗



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水冷型溅射仪,技术参数;

控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

溅射电源

直流溅射电源

镀膜功能

0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

功率

≤1000W

输出电压电流

电压≤1000V  电流≤1A

真空

机械泵 ≤5Pa(5分钟)   分子泵≤5*10^-3Pa

溅射真空

≤30Pa

挡板类型

电控

真空腔室

石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm

样品台

可旋转φ62  (可安装φ50基底)

样品台转速

8转/分钟

样品溅射源调节距离

40-105mm


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