高真空大型探针台，采用304不锈钢腔体，样品台温度-196℃到400℃，观察窗尺寸直径70mm，
预算及产品品质一直是困扰用户的两个难题。郑科探推出的KT-Z160T-RL大型探针台具有探针臂精度小于0.01mm，探针尖10μm，配有电子显微镜放大倍数19-135倍。20升液氮可连续使用30个小时。价格相对合理。
因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。
高真空大型探针台
真空腔体
腔体材质
304不锈钢
上盖开启
铰链侧开
加热台材质
304不锈钢
内腔体尺寸
φ160x90mm
观察窗尺寸
Φ70mm
加热台尺寸
φ60mm
观察窗热台间距
75mm
加热台温度
﹣196~350℃
加热台温控误差
±1℃
真空度
机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
允许正压
≤0.1MPa
真空抽气口
KF25真空法兰
气体进气口
3mm-6mm卡套接头
电信号接头
SMA转BNC X 4
电学性能
绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V
探针数量
4探针
探针材质
钨针
探针尖
10μm
探针移动平台
X轴移动行程
30mm ±15mm
X轴控制精度
≤0.01mm
Y轴移动行程
13mm ±12.5mm
Y轴控制精度
≤0.01mm
Z轴移动行程
13mm ±12.5mm
Z轴控制精度
≤0.01mm
电子显微镜
显微镜类别
物镜
物镜倍数
0.7-4.5倍
工作间距
90mm
相机
sony 高清
像素
1920※1080像素
图像接口
VGA
LED可调光源
有
显示屏
8寸
放大倍数
19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm
07
29
2022
高真空大型探针台 真空探针台
来源:[郑州科探仪器设备有限公司]
联系人：邱先生
手机：15136405012
电话：-
传真：-
QQ：1741240035
Email：
地址：地区
品牌：郑科探
价格：面议
元/台
供应地：
产品型号：KT-Z160T-RL
