中型真空高低温探针台，体型平板大小，功能齐全，带高低温（-196℃到400℃），探针尖10μm。
模块化结构设计，可以使探针台在一个基本平台的基础上不断的进行升级。可根据测试环境和测试条件的改变而进行现场升级。增加高低温等，以满足用户新的要求。
可处理不同尺寸的晶圆
可测试芯片、晶圆
可处理薄的和弯曲的晶圆或者硅和III-V 族化合物
模块化结构设计，具有较好的灵活性
中型真空高低温探针台参数
真空腔体
类型
加热型350℃ 或者加热制冷型 室温到350℃ 室温到-190℃
腔体材质
304不锈钢
腔体内尺寸
φ90x40mm
腔体上视窗尺寸
Φ42mm（选配凹视窗Φ22mm）
腔体抽气口
KF16
腔体进气口
公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选
腔体出气口
公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选
腔体正压
≤0.05MPa
腔体真空度
机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）
样品台
样品台材质
304不锈钢
样品台尺寸
26X26mm
样品台-视窗 距离
30mm（可选凹视窗间距15mm）
样品台测温传感器
A 级PT100铂电阻
样品台温度
室温到350℃（可选高低温样品台 高温350℃低温-190℃）
样品台测温误差
±0.2℃
样品台变温速率
高温10℃/min 低温5℃/min 最，大值
温控仪
温度显示
7寸人机界面
温控类型
标准PID温控 +自整定（可选30段编程控温）
温度分辨率
0.1℃
温控精度
±0.5℃
温度信号输入类型
PT100热电阻 （可选 K S B型热电偶）
温控输出
直流线性电源加热（液氮流量线性控制液氮制冷）
辅助功能
温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线
探针
电信号接头
配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米
电学性能
绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA
探针数量
4探针（可定做6探针）
探针材质
镀金钨针
探针尖
10μm
探针移动平台
X轴移动行程
12mm ±6mm
X轴控制精度
≤5μm
Y轴移动行程
12mm ±6mm
Y轴控制精度
≤5μm
Z轴移动行程
12mm ±6mm
Z轴控制精度
≤5μm
数码显微镜
显微镜类别
物镜放大+电子放大
显微镜放大倍数
100倍
显微镜工作间距
50-150mm
相机分辨率
1080P 60帧
相机信号输出
HDMI输出+USB输出
LED可调光源
LED光源
显示屏
5寸 屏幕一体机
07
29
2022
中型真空高低温探针台 中型探针台 缩小版探针台
来源:[郑州科探仪器设备有限公司]
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产品型号：KT-0904T-RL
