联洲电器有限公司是一家做智能仪表,电机软启动,软启动器,数显表的专业厂家,主要产品有电力仪表,智能仪表,数显表,电机软启动,软启动器等,欢迎访问!

YADO-ECS-50智能除湿装置 奉化推进氢能技术的更新突破
光刻胶在做完后续成形工艺之后，PR就不需要了，而且还要去除的很干净，减少多后续工艺的影响


　 去除光刻胶的方法主要有干法和湿法，湿法是主流，但是对于一些ICP或者离子注入工艺后发生　硬化　的光刻胶，湿法就会出现去胶不干净的情况　 　 因此就有了干法刻蚀去除光刻胶的技术，从20世纪70年代末开始，干法工艺采用灰化Ashing来去除光刻胶　

灰化，简单的理解就是用氧气把光刻胶燃烧掉，光刻胶的基本成分是碳氢有机物，在射频或微波作用下，氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应，生成一氧化碳，二氧化碳和水等，再通过泵被真空抽走，完成光刻胶的去除


　 　 　 　 　 在干法去除机中，等离子体由微波，射频和UV臭氧源共同作用产生　 　 　 也有用CF4的　 　 工艺条件也和设备不同有关，一般处理10min~20分钟，根据产品特性而定，