超高温蒸镀仪,7寸人机界面控制,手动 自动模式可切换,功率1200w,电动挡板保护样品
小型蒸镀仪特别适合蒸镀一些轻金属,如、Al、Mg、和Li等;同时也可对样品进行镀碳处理,可处理的样品直径为50mm。
1、配有直连式双旋机械泵(装有油污过滤器和防回油装置),可使真空腔体真空度达到10-2torr。
2、配有KF25波纹管和卡箍。
3、可进行镀碳处理。
不同真空度 不同镀膜时间镀铜样品图
真空度越高 越不易氧化 越接近金属本色
超高温蒸镀仪KT-Z1650CVD
控制方式
7寸人机界面 手动 自动模式切换控制
加热方式
数字式功率调整器
镀膜功能
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
功率
≤1200W
输出电压电流
电压≤12V 电流≤120A
真空度
机械泵 ≤5Pa(5分钟) 分子泵≤10^-3Pa
挡板类型
电控
真空腔室
石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm
样品台
可旋转φ62 (可安装φ50基底)
样品台转速
8转/分钟
样品蒸发源调节距离
70-140mm
蒸发温度调节
≤1800℃
支持蒸发坩埚类型
钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳
预留真空接口
KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口 6mm卡套进气口
可选配扩展
机械真空泵(可抽真空 5分钟<5Pa)
数显真空计(测量范围大气压到0.1Pa)
分子泵机组(可抽真空20分钟≤5x10-3Pa)
原样品没有镀膜
115A 100秒 机械泵
115A 100秒 分子泵抽12分钟
115A 120秒 分子泵抽20分钟
07
21
2022
超高温蒸镀仪 真空蒸镀仪 小型蒸镀仪
来源:[郑州科探仪器设备有限公司]
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产品型号:KT-Z1650CVD

