KT-S2DQX型等离子清洗机电源属于150W 13.56MHz的射频电源。作为一种精密干法清洗设备，主要应用于半导体、镀膜工艺、PCB制程、PCB制程、元器件封装前、COG前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗，塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。
该清洗机内置高纯石英仓体，容积为2升。采用了新型的外观结构设计和固态电源技术，使其有效容积增大，不同真空 气体环境下容易匹配，且控制频率稳定。真空仓门有观察窗，可直观物体的处理过程，其射频电源与控制都组装在一个机箱内，即减少了空间的占用，更便于操作和放置，同时与大型清洗机相比较，从检测功能与控制功能的设置上均可一个面板上操作，特别适用科学实验
样品清洗 和教学。
1：供电电源
AC220V（AC110V可选)
2：工作电流
整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵)
3：射频电源功率
150W
4：射频频率
13.56MHz
5：频率偏移量
＜0.2MHz
6：特性阻抗
50欧姆，手动匹配
7：耦合方式
电容耦合
8：真空度
≤100Pa
9：腔体材质
高纯石英
10：腔体容积
2L(内径110MMX深度220MM)
11：观察窗内径
Φ65
12：气体流量
10—100ml/min（其他量程可选）
13：过程控制
过程手动控制
14：清洗时间
手动开关
15：开盖方式
铰链侧开式法兰
16：外形尺寸
400x380x360mm
17：真空室温度
小于65°C
18：冷却方式
强制风冷
