桌面式高温蒸镀仪
小型蒸镀仪是一种在真空条件下加热蒸发容器中待蒸发材料的方法,以使原子或分子蒸发并从表面逸出以形成蒸气流,进入基材或基材表面,然后凝结成固体膜。
特点
以下是不同真空度 不同镀膜时间镀铜样品图
真空度越高 越不易氧化 越接近金属本色
桌面式高温蒸镀仪KT-Z1650CVD
控制方式
7寸人机界面 手动 自动模式切换控制
加热方式
数字式功率调整器
镀膜功能
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
功率
≤1200W
输出电压电流
电压≤12V 电流≤120A
真空度
机械泵 ≤5Pa(5分钟) 分子泵≤10^-3Pa
挡板类型
电控
真空腔室
石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm
样品台
可旋转φ62 (可安装φ50基底)
样品台转速
8转/分钟
样品蒸发源调节距离
70-140mm
蒸发温度调节
≤1800℃
支持蒸发坩埚类型
钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳
预留真空接口
KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口 6mm卡套进气口
可选配扩展
机械真空泵(可抽真空 5分钟<5Pa)
数显真空计(测量范围大气压到0.1Pa)
分子泵机组(可抽真空20分钟≤5x10-3Pa)
● 全自动抽气系统
● 旋转样品台
● 菜单驱动式“用户”键盘输入
● 快速释放头方便选择不同的头
● 约束的排气控制
原样品没有镀膜
115A 100秒 机械泵
115A 100秒 分子泵抽12分钟
115A 120秒 分子泵抽20分钟
06
23
2022
桌面式高温蒸镀仪 桌面蒸镀仪 小型高温蒸镀仪 真空蒸镀仪
来源:[郑州科探仪器设备有限公司]
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品牌:郑科探
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元/台
供应地:
产品型号:KT-Z1650CVD
小型蒸镀仪包括以下基本过程:
(1)加热蒸发过程:包括从冷凝相变为气相的过程,并且每种蒸发物质在不同温度下具有不同的饱和蒸气压。
(2)气态原子或分子在蒸发源和基质之间的传输,即原子或分子在周围大气中的飞行过程。
(3)蒸发的原子或分子在基板表面上的沉积过程。即,蒸发,冷凝,成核,成核生长,形成连续的膜。由于基材的温度远低于蒸发源的温度,因此气态分子将直接经历从基材表面上的气态到固态的相变过程。

