真空腔体

类型

高温加热型1000℃（高于600℃需真空环境）

腔体材质

6061铝合金

腔体内尺寸

147mmX72mmX22mm

腔体外尺寸

170mmX95mmX37mm

腔体重量

约1.1KG

腔体上视窗尺寸

Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）

腔体抽气口

KF16法兰（其余接口规格可转接）

腔体真空测量口

KF16法兰（其余接口规格可转接）

腔体进气口

公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选

腔体冷却方式

腔体水冷+上盖水冷

腔体水冷接口

6mm快拧 或 6mm快插

腔体正压

≤0.05MPa

腔体真空度

机械泵≤5Pa （5分钟）  分子泵≤5E-3Pa（30分钟）

样品台

样品台材质

高温绝缘陶瓷

样品台尺寸

26x26mm

样品台加热方式

电阻加热

样品台-视窗 距离

13mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）

样品台测温传感器

S型热电偶

样品台温度

室温到1000℃

样品台隔热材料

金属屏蔽+陶瓷隔热

样品台测温误差

±1℃

样品台升温速率

高温100℃/min  最大值