KT-1650PVD是一款小型台式溅射功率可控磁控溅射仪，仪器虽小功能齐全，配备有电压
电流反馈,样品台旋转，样品高度调节，及电动挡板功能。通过定时调节预溅射功率及薄膜沉积功率，可对大部分金属进行均匀物理沉积，真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染，样品台可旋转以获得更均匀的薄膜，可制备各种金属薄膜。
设备名称
小型溅射仪
控制方式
7寸人机界面 手动 自动模式切换控制
工作电源
直流溅射电源
镀膜功能
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
功率
≤1000W
输出电压电流
电压≤1000V 电流≤500mA
真空
机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤5*10^-3Pa
溅射真空
≤10Pa
挡板类型
电控
真空腔室
石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm
样品台
可旋转φ62 （可安装φ50基底）
样品台转速
8转/分钟
样品溅射源调节距离
40-105mm
真空测量
皮拉尼真空计（已安装
测量范围10E5Pa 1E-1Pa）
预留真空接口
KF25抽气口
KF16放气口 6mm卡套进气口
小型溅射仪
06
28
2023
高校科研小型台式磁控溅射仪 直流溅射喷金仪
来源:[郑州科创实验仪器设备有限公司]
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品牌：郑科探
价格：38600.00
元/台
供应地：
产品型号：KT-Z1650PVD
