高品质钢质蜂巢台面：
光学隔振平台由钢质蜂巢内核、顶板及底板组成，在降低重量的前提下提供了足够的硬度。光学隔振平台顶板为高导磁性不锈钢材料，底板为氧化处理碳钢板，四周侧板内层为碳钢板外层为黑色铝塑板.
气浮隔震装置：
气压式防振装置，符合 JISD-4101 气垫耐压试验标准 ；自然频率 3Hz~5Hz，使用压力 4.5Kg/cm^2。；本体采用 Neoprene Rubber，一体成型气密性佳。防振效果*，一般设备效率可达 97%以上。
桌式气浮隔振平台配微型探针台KT-Z4019MRL4T
196℃至350℃微型高低温探针台，结构精美，外观小巧，搭配4探针，留有石英玻璃观察窗，主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，气敏测试，光敏测试等。
桌式气浮隔振平台配微型探针台KT-Z4019MRL4T
真空腔体
类型
高温型室温到350℃
高低温型 室温到350℃ 室温到-196℃
腔体材质
304不锈钢 6061铝合金 可选
腔体内尺寸
127mmX57mmX20mm
腔体外尺寸
150mmX80mmX32mm
腔体重量
不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG
腔体上视窗尺寸
Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）
腔体抽气口
KF16法兰（其余接口规格可转接）
腔体真空测量口
KF16法兰（其余接口规格可转接）
腔体进气口
6mm快拧 或 6mm快插
腔体冷却方式
腔体水冷+上盖气冷
腔体水冷接口
腔体正压
≤0.05MPa
腔体真空度
机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）
样品台
样品台材质
不锈钢 银铜合金 纯银块
银铜合金 纯银块
样品台尺寸
26x26mm
样品台加热方式
电阻加热
电阻加热 液氮制冷
样品台-视窗 距离
11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm）
样品台测温传感器
PT100型热电阻
样品台温度
室温到400℃
室温到400℃ 室温到-196℃
样品台测温误差
±0.5℃
样品台升温速率
高温100℃/min 低温7℃/min
温控仪
温度显示
7寸人机界面
温控类型
标准PID温控 +自整定
温度分辨率
0.1℃
温控精度
±0.5℃
温度信号输入类型
PT100 （可选K S B型热电偶）
温控输出
直流线性电源加热
直流线性电源加热+液氮流速控制器
辅助功能
温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口
温控器尺寸
32cmX170cmX380cm
温控器重量
约5.6KG
探针
电信号接头
配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米
电学性能
绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA
探针数量
4探针（可扩展5探针）
探针材质
镀金钨针 （其他材质可选）
探针尖
10μm
手动探针移动平台
X轴移动行程
20mm ±10mm（需手动推动滑台）
X轴控制精度
≥500μm
R轴移动行程
120° ±60°（需手动旋转探针杆）
R轴控制精度
≥500μm
Z轴移动行程
2mm ±1mm
Z轴控制精度
≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）
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08
2022
桌式气浮隔振平台配微型探针台 隔振探针台 气浮探针台
来源:[郑州科探仪器设备有限公司]
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产品型号：KT-Z4019MRL4T
