小型真空等离子清洗机，
等离子体清洗的机理，主要是依靠等离子体中活性粒子的"活化作用"达到去除物体表面污渍的目的。等离子体清洗通常包括以下过程:无机气体被激发为等离子态;气相物质被吸附在固体表面;被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子;产物分子解析形成气相;反应残余物脱离表面。等离子体清洗技术的特点是不分处理对象的基材类型，均可进行处理，对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料，可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。
小型真空等离子清洗机
供电电源
AC220V（AC110V可选)
工作电流
整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵)
射频电源功率
150W
射频频率
13.56MHz
频率偏移量
＜0.2MHz
特性阻抗
50欧姆，手动匹配
耦合方式
电容耦合
真空度
≤100Pa
腔体材质
高纯石英
腔体容积
2L(内径110MMX深度220MM)
观察窗内径
Φ65
气体流量
10—100ml/min（其他量程可选）
过程控制
过程手动控制
清洗时间
手动开关
开盖方式
铰链侧开式法兰
外形尺寸
400x380x360mm
重量
23Kg
真空室温度
小于65°C
冷却方式
强制风冷
标配
KF16真空管1米，kf16卡箍2个，不锈钢网匣1个，电源线一根，说明书一本。
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07
2022
小型真空等离子清洗机 表面处理 粉末旋转清洗
来源:[郑州科探仪器设备有限公司]
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产品型号：KT-S2DQX
