过滤器检漏-光度计法在洁净室检测中，工业洁净室中，尘埃颗粒检测是重点，而检漏试验是粒子测定的基础，其重要性不亚于粒子测定。过滤器检漏和空气流速达到了规定要求，气流均匀度也在规定的控制范围内，则洁净度当然有了。
  过滤器检漏-气溶胶光度计法在洁净室检测中，工业洁净室中，尘埃颗粒检测是重点，而检漏试验是粒子测定的基础，其重要性不亚于粒子测定。过滤器检漏和空气流速达到了规定要求，气流均匀度也在规定的控制范围内，则洁净度当然有了。
  是最早期的测试方式，因为效果好，到今天仍旧沿用。气溶胶光度计是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，但是它在扫描空气样本的微粒之后，所给的是微粒的总体强度，不是微粒数目。
  泄漏的定义是泄漏出上游浓度万分之一，由于气溶胶光度计可以直接显示上下游微粒浓度的比值，因此扫描滤网非常方便。也正因其准确、可靠。
  在被检测过滤器上风侧发生PAO气溶胶作为尘源，在下风侧用光度计进行采样，含尘气体经过光度计产生的散射光由光电效应和线性放大转换为电量，并快速显示，采集到的空气样品通过光度计的扩散室，由于粒子扩散引起灯光强度的差异，经测定这个光强度，PAO法原理便可测得气溶胶的相对浓度。
  过滤器检漏
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