英福康残余气体分析仪的功能
  应用于ALD、蚀刻、CVD，对残余气体进行过程监测和分析
  测量速度为每点1.8ms（每秒555点）
  在大多数苛刻CVD和蚀刻应用中，展现出经实践验证的耐久性和可靠性
  应用集成—TranspectorCPM集成FabGuard软件，由INFICON提供支持，是一款强大的过程监测与诊断工具
  紧凑尺寸—允许轻松集成到半导体生产设备
  Hexblock?含三个压力进口并减少表面积，以小化表面反应时间和响应时间
  电容隔膜计(CDG)—CDG允许用户监测过程压力，并自动保护系统不出现压力偏移
  自动校准—确保长期数据稳定性和精度，以便进行各传感器和工具的腔室匹配
  用户优越性
  INFICONTranspectorCPM的下列性能可在低成本下实现现场早期报警:
  ■测量气相反应;
  ■验证真空的完整性;
  ■鉴别痕量污染物;
  ■测量过程与本底的组分;
  ■定性气体纯度。
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  http://www.lsd-tec.com/emeraldliu-Products-14595726/
  https://www.ybzhan.cn/st17723/product_14595726.html