高精度流量计气体配比器
CS系列产品采用了先的技术,申报并获得66项国家z利,其中PCT2项,发明z利24项。CS 系列产品的各项技术指标均严格按照SEMI标准,相对于模拟产品具有精度高,响应快,使用便捷，可实现功能多、易于通讯、扩展性和可兼容性强等优点。CS系列产品已被广泛应用于半导体、太阳能、燃料电池、真空、分析仪器、光电、制气、石化、医疗、航空电力等行业。
高精度流量计气体配比器
产品型号
KT-PCS4Z
KT-C4ZS
气体通道
4进1出
4进1出
可根据需求定制
产品类型
高精度型/快速响应型/智能控制/触摸屏控制
可选量程
20sccm-30slm(气体量程根据客户需要可选)
产品精度
高精度型±1％F.S
普通型±1％F.S
重复精度
高精度型±0.2% F.S
普通型±0.2% F.S
线性
高精度型±0.5% F.S.
普通型±1% F.S.
响应时间
高精度型≤2sec
普通型≤4sec
工作温度范围
(5~45)°C
供电电源
~85-265VAC 50/60Hz
功耗
40W
进气口压
≤0.6MPa
连接管道
316不锈钢管道
截止阀类型
电磁阀
单向阀开启压力
0.02Mpa
压力显示量程
0-0.6Mpa
控制方式
7寸触摸屏智能调节
时间设定
0-32000分钟
清洗功能
一键清洗
程序控制
5段可编程序(时间-流量随意设定值)
压力显示
有（出气压力检测且有压力上限设置过压切断总输出气路）
气体混合罐
有（内置不锈钢扰流板气体混合均匀）
气体加热
无（可选配气体混合罐加热，加热温度室温至350℃可调）
流量累计
有（累计当前运行总流量）
可选进出气口接头形式
3mm,6mm,1/8mm,1/4mm双卡套接头
抗电磁干扰
有
外形尺寸
550x380x400mm
重量
18KG～20KG
10
24
2022
高精度流量计气体配比器 高精度气体配比 质量流量计
来源:[郑州科探仪器设备有限公司]
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品牌：郑科探
价格：面议
元/台
供应地：
产品型号：KT-C3ZS
