HSR-230型离子溅射仪主要用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜（金膜），仪器操作简单方便，是配合 SEM 制样必备的仪器。

设备配有微量充气阀调节工作真空，在 20Pa 真空保护。同时，配有专用进气口和微量充气调节装置，以方便空气或氩气等工作气体充入。

产品特点：

• 显示操作面为 30°斜面，充分考虑操作的便捷和视觉体验，方便观察操作；

• 真空泵连接管路为金属波纹管，美观耐用；

• 微调阀调节灵敏准确，带有刻度标识；

• 真空泵抽速快，噪音低，适合实验室使用；

• 控制电路为控制板，工作稳定可靠；

• 结构简单可靠，布局合理，维修操作空间大。

产品参数：

• 真空腔室：Φ110mm,高度 130mm，

• 试样台尺寸：Φ60mm

• 金靶尺寸：Φ57mm

• 真空系统：抽速 8m3/h

• 真空检测：定制皮氏计，配合真空指针表，灵敏可靠；

• 时间范围：0-999 秒连续可调，LED 数显。

• 自动排放气，无需手动排气。

• 工作室工作媒介气体：空气或氩气，配有氩气专用进气口和微量调节阀。